海控科技在期刊《材料科学与工程学报》于2020年第4期第38卷发表了《磁控溅射法制备Al₂O₃复合高铝玻璃薄膜》论文，该论文属于海南省重 大科技计划资助项目（ZDKJ2017011），国家自然科学基金资助项目（51761010），海南大学科研平台建设资助项目（ZY2019HN09）科研成果。

玻璃中当Al₂O₃含量高时，Al₂O₃可以很大程度地改善玻璃中的化学结构稳定性，并且可以相应的提高玻璃的析晶温度，降低玻璃的析晶倾向。此外，高铝玻璃中力学性能如硬度和机械强度计算也会得到有效提高。但随着Al₂O₃含量的增加，熔制时玻璃的粘度和表面张力也会随之加大，使得澄清和成型等工艺难度加大，导致产品的良品率降低，进一步增加了生产成本。磁控溅射技术是目前镀膜工业采用的主要方法之一，特别是在微电子、光学薄膜和材料表面处理领域中得到广泛应用。该技术可使用化合物材料制作靶材，并溅射沉积化合物薄膜。

本研究以高铝玻璃和Al₂O₃为靶材，通过磁控溅射的方法，在普通白玻上制备Al₂O₃复合高铝玻璃薄膜，研究了薄膜中随着Al₂O₃含量的增加对薄膜硬度及可见光透过率性能的影响。并通过不同的表征技术，分析了薄膜的微观结构、成分及变化规律。通过改变Al₂O₃靶的溅射功率，得到了最优综合性能的工艺参数，即当Al₂O₃靶材的溅射功率为120W时所制备的薄膜，其表面形貌最好，呈相互连接的、均匀致密的颗粒状；纳米硬度及杨氏模量分别为18.266GPa和142.157GPa；各样品的平均可见光透过率均在85%以上。